Keramische capacitieve absolute druksensor

Een keramische capacitieve absolute druksensor is een type sensor dat aluminiumoxide-keramiek als kernmateriaal gebruikt en de druk meet ten opzichte van een absoluut vacuümreferentiepunt door veranderingen in de capaciteit te detecteren.

 

Simpel gezegd is het een "variabele condensator" die druk direct omzet in een verandering in capaciteit, waarbij de referentieholte hermetisch is afgesloten onder vacuüm.

Het kernonderdeel is een keramische capacitieve detectiekern, doorgaans vervaardigd met behulp van meer-laagse bijstook-technologie:

Structuur:Het bestaat uit een keramisch substraat met een vaste elektrode en een keramische dunne film (diafragma) die fungeert als de beweegbare elektrode, bij hoge temperaturen aan elkaar gebonden met behulp van glasfrit.

Na het lijmen wordt daartussen een extreem kleine, hermetisch afgesloten vacuümreferentieholte gevormd. Dit is de sleutel tot het bereiken van absolute drukmeting.

Deze structuur vormt een parallelle-plaatcondensator:

• Plaat 1: De vaste onderste elektrode (gedrukt op het keramische substraat).
• Plaat 2: De beweegbare bovenste elektrode (het keramische diafragma zelf, meestal gemetalliseerd).
• Diëlektrisch: vacuüm (in de referentieholte) en keramiek.

• Oorspronkelijke staat:Onder absoluut vacuüm blijft het keramische diafragma onvervormd en is de capaciteitswaarde een initiële waarde, C₀.
• Toegepaste druk:Wanneer externe druk (absolute druk) op de buitenzijde van het keramische diafragma inwerkt, ondergaat het diafragma een lichte buigvervorming in de richting van de vacuümreferentieholte.
• Capaciteitsverandering:Deze vervorming zorgt ervoor dat de afstand tussen de twee condensatorplaten kleiner wordt.
  Volgens de parallelle -plaatcondensatorformule C=εA/d (waarbij ε de permittiviteit is en A het relatieve plaatoppervlak), resulteert een afname van de afstand in een toename van de capaciteitswaarde C.

• Signaalmeting:Een daaropvolgend speciaal circuit (doorgaans een ASIC - toepassings-specifiek geïntegreerd circuit) detecteert deze minieme verandering in capaciteit, converteert, versterkt en lineariseert deze, en voert uiteindelijk een gestandaardiseerd signaal uit (zoals spanning of een digitaal signaal) dat evenredig is aan de absolute druk.

Populaire tags: keramische capacitieve absolute druksensor, China keramische capacitieve absolute druksensor leveranciers